半導體產業是一個非常成熟的行業,當我們把計算機外,船上的小芯片數百萬顆恒星甚至百萬晶體管。為了使這些微小的晶體管工作,生產過程_在一個干凈的房間,集成電路制造廠需要數十億,數十億的投資,更因為需要一個干凈的房間。
所謂的潔凈室是一種人為的環境,其中包含顆粒通常是好的環境下,隨著集成電路技術的飛速發展,也增加了制造環境(無塵室)的清潔度要求的行業,甚至大小小于1微米的顆粒,也可能阻礙產品操作或減少其使用壽命。
由于納米技術的興起,半導體關鍵尺寸的不斷減小,集成電路產品集塵度的增加,更容易失敗或可靠性劣化。例如,當金屬粉塵顆粒的金屬線,可使金屬絲形成短路。如果有酸性離子化合物粉塵的金屬絲,有腐蝕性,所以潔凈室專用集成電路制造_的元素。
根據美國聯邦政府頒布的標準[聯邦標準209 E(財政司司長),1992 ],可分為六個等級的無塵室。1,10級,100級,1000級,10000級,1級,00000級,如果清潔房間的塵埃粒子數描述,可以假定一個塵埃粒子大小0.5?米,例如,1級,10級,100級無塵室_粒數小于或等于1,10,100,如果粒子的大小是0.5?米,潔凈室等級應在一個特定的粒度級數表示。例如:100.2?米(粒徑范圍在0.2?米或更大,密度不_過75/立方?)1年級,0.1?米(粒徑范圍在0.1?米或更大,密度不_過35/立方英尺。)。和集成電路制造所需的無塵室清潔度_達到1000級以上。
為保持清潔干凈的房間,和工作人員有_的服裝規定;10000和100000個等級,_穿長袍,干凈的衣服,干凈的鞋子,帽子和口罩;1000級(含),都_穿上特殊的清潔連衣,清潔鞋裹體,并戴手套和下表面膜,清潔房間清潔定義。
粒子/立方英尺
系列0.1米0.2米0.3米0.4米0.5米
1357.531/
10350753010/
100/750300100/個
1000/,//10007
10000/,//1000070
00000/1/、/100000700
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